发明名称 METHOD OF MAKING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS559489(A) 申请公布日期 1980.01.23
申请号 JP19780083377 申请日期 1978.07.07
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 HATADA KENZOU;KOZONO RIICHI;KAJIWARA KOUSEI
分类号 H01L21/3213;H01L21/302;H01L21/306 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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