发明名称 DEVICE FOR CONTRACTING THIN FILM FOR ELECTRON MICROSCOPE OR THE LIKE
摘要
申请公布号 JPS5528230(A) 申请公布日期 1980.02.28
申请号 JP19780100472 申请日期 1978.08.18
申请人 NIPPON ELECTRON OPTICS LAB 发明人 TAKABA YOSHINORI
分类号 H01J37/063;H01J37/09;H01J37/147 主分类号 H01J37/063
代理机构 代理人
主权项
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