发明名称 |
DEVICE FOR CONTRACTING THIN FILM FOR ELECTRON MICROSCOPE OR THE LIKE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS5528230(A) |
申请公布日期 |
1980.02.28 |
申请号 |
JP19780100472 |
申请日期 |
1978.08.18 |
申请人 |
NIPPON ELECTRON OPTICS LAB |
发明人 |
TAKABA YOSHINORI |
分类号 |
H01J37/063;H01J37/09;H01J37/147 |
主分类号 |
H01J37/063 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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