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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5544741(A) 申请公布日期 1980.03.29
申请号 JP19780118194 申请日期 1978.09.26
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KIRISAKO TADASHI;MONMA YOSHINOBU
分类号 H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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