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发明名称 METHOD OF MAKING PATTERN BY ELECTRON BEAM
摘要
申请公布号 JPS5555534(A) 申请公布日期 1980.04.23
申请号 JP19780127989 申请日期 1978.10.18
申请人 CHO LSI GIJUTSU KENKYU KUMIAI 发明人 SUGIYAMA HISASHI;SAITOU KAZUNORI
分类号 H01L21/027;H01L21/302 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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