发明名称 |
SUPPORTING METHOD FOR MAGNESIA SPINEL GAS PHASE GROWTH |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPS5561034(A) |
申请公布日期 |
1980.05.08 |
申请号 |
JP19780134142 |
申请日期 |
1978.10.31 |
申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
IHARA MASARU;YAMAWAKI HIDEKI |
分类号 |
H01L27/00;C30B25/02;C30B29/26;H01L21/205;H01L21/365;H01L21/84;H01L21/86 |
主分类号 |
H01L27/00 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|