光取向用偏振光照射装置以及光取向用偏振光照射方法

摘要

一种光取向用偏振光照射装置以及光取向用偏振光照射方法，能够高精度地检测所照射的偏振光的偏振轴的方向，在方向精度方面，能够进行高品质的光取向处理。在照射面(R)上配置工件(W)，在通过经由偏振元件(121)向照射面(R)进行光照射而对工件(W)照射偏振光时，在照射面(R)配置偏振方向检测器(40)并检测偏振光的偏振轴的方向。偏振方向检测器(40)所具备的检偏振器(42)由检偏振器校准器(6)预先被定位，旋转原点相对于装置基准方向成为规定的角度。基于由偏振方向检测器(40)检测到的偏振方向，求出偏振轴的偏离量，通过偏振元件调整机构(7)对偏振元件(121)的姿势进行调整，以消除偏离量。

主权项

一种光取向用偏振光照射装置，具备针对被配置于照射面的工件经由偏振元件进行偏振光照射的光照射器，该偏振光照射装置的特征在于，工件设定有设定取向方向作为为了光取向而应使偏振光的偏振轴指向的方向；具备偏振方向检测系统，该偏振方向检测系统对照射到照射面的偏振光的偏振轴的方向进行检测；偏振方向检测系统能够将所述偏振轴的方向作为相对于在装置中设定的基准方向即装置基准方向的角度来检测，并且工件相对于装置基准方向以规定的姿势被配置于照射面，以照射在设定取向方向偏振的偏振光；偏振方向检测系统具备偏振方向检测器，该偏振方向检测器能够配置在对照射到照射面的偏振光的偏振轴的方向即偏振方向进行检测的位置上；偏振方向检测器具备相对于照射面平行的姿势的检偏振器、经由检偏振器接受从光照射器射出的光的受光器、以及使检偏振器围绕相对于照射面垂直的旋转轴旋转的旋转驱动源，并且基于由受光器接受的光的强度随着检偏振器的旋转而变化的状态，检测偏振方向；检偏振器设有检偏振器校准器；检偏振器校准器使旋转原点上的检偏振器的姿势成为相对于装置基准方向朝向规定的方向的姿势，该旋转原点是为了检测偏振方向而使检偏振器旋转时的旋转原点。