发明名称 VAPOR PHASE EPITAXIAL GROWTH
摘要
申请公布号 JPS5578525(A) 申请公布日期 1980.06.13
申请号 JP19780153278 申请日期 1978.12.11
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NAKAI KENYA
分类号 C30B25/14;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/223;H01L21/31 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
主权项
地址