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发明名称 HEAD FOR FABRICATING STEM
摘要
申请公布号 JPS55100647(A) 申请公布日期 1980.07.31
申请号 JP19790007144 申请日期 1979.01.26
申请人 HITACHI LTD 发明人 YANO TAKESHI;ODAJIMA HITOSHI;YOSHIDA MINORU
分类号 H01J9/32;H01J9/30;H01K3/06;H01K3/10 主分类号 H01J9/32
代理机构 代理人
主权项
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