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发明名称 ION ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPS55104483(A) 申请公布日期 1980.08.09
申请号 JP19790009116 申请日期 1979.01.31
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 OKANO HARUO;HORIIKE YASUHIRO
分类号 H01L21/302;C23F1/02;C23F4/00;H01L21/306;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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