| 发明名称 |
RESIN COMPOSITION FOR THERMOSETTING TYPE RESIST FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS55108656(A) |
申请公布日期 |
1980.08.21 |
| 申请号 |
JP19790015164 |
申请日期 |
1979.02.13 |
| 申请人 |
MITSUBISHI RAYON CO |
发明人 |
NAKAUCHI JIYUN;YOSHIHARA TOSHIO |
| 分类号 |
C08K5/00;C08K5/09;C08L33/00;C08L33/02;C08L33/04;G03C1/72;G03F7/039;H01L21/30 |
主分类号 |
C08K5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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