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发明名称
CHARACTERISTICS MEASUREMENT OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPS55119071(A)
申请公布日期
1980.09.12
申请号
JP19790026667
申请日期
1979.03.09
申请人
HITACHI LTD
发明人
NAKASHIMA HIROYUKI;KANETANI MUTSUYO;KIMURA KAZUHIKO
分类号
G01R31/26
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
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