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发明名称 METHOD FOR CLEANING THIN INSULATING LAYERS AT THE PRODUCING OF SEMI-CONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 HU175677(B) 申请公布日期 1980.09.28
申请号 HU1977TA01456 申请日期 1977.09.21
申请人 TAVKOEZLESI KUTATO INTEZET,HU 发明人 NAGYGYOERGY,GABOR,HU;RAUSCH,HENRIK,HU;KORMANY,TEREZ,HU;RENYI-VAMOS,FERENCNE,HU;NAGY,LASZLO,HU
分类号 H01L21/316;H01L21/324 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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