发明名称 SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSER
摘要
申请公布号 JPS55128131(A) 申请公布日期 1980.10.03
申请号 JP19790035599 申请日期 1979.03.28
申请人 HITACHI LTD 发明人 YAMADA KAZUJI;SUZUKI KIYOMITSU;NISHIHARA MOTOHISA;SATOU HIDEO;KOBORI SHIGEYUKI
分类号 G01L9/04;G01L9/00;H01L29/84 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
主权项
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