| 摘要 |
본 발명에 의해, 할로겐계 부식성 가스 및 이들의 플라즈마에 대한 내식성 및 열전도성이 우수하고, 또한 도전성도 우수하며, 나아가서는, 여러 가지 진공 프로세스 장치에 사용되는 부재에 적용한 경우에 있어서도, 설계상의 제약이 적고, 적용 범위도 넓으며, 범용성이 우수한 소결체 및 그 제조 방법이 제공된다. 또, 본 발명에 의해, 플라즈마 전위 변동을 억제하기 위하여 직류 전류에 대한 도전성, 및 플라즈마의 여기에 필요한 고주파 전력을 투과시킬 수 있는 용량성을 가지며, 시료가 금속 오염될 우려가 없고, 또한 플라즈마 내식성을 가지는 고주파 투과 재료가 제공된다. 또한, 본 발명에 의해, 할로겐계 부식성 가스 및 이들의 플라즈마에 대한 우수한 내식성을 가지며, 고주파 인가 시에 주파수 의존성이 없고, 플라즈마의 안정성을 발현시키는 것이 가능한 소결체 및 그 제조 방법이 제공된다. |
