| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5656677(A) |
申请公布日期 |
1981.05.18 |
| 申请号 |
JP19790132059 |
申请日期 |
1979.10.13 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
AOYAMA MASAHARU;KAI SHIYUNICHI;YONEZAWA TOSHIO |
| 分类号 |
H01L27/112;H01L21/8246;H01L21/8247;H01L29/51;H01L29/788;H01L29/792 |
主分类号 |
H01L27/112 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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