| 摘要 |
본 발명은 나노 재료 시험기에 장착될 시편을 모듈 형태로 제작하여 나노 재료 시험기에 별다른 도구 없이 사용자가 손으로 직접 장착할 수 있는 나노 재료 시험기용 시편 모듈 제조 방법을 제공하는 것을 그 목적으로 한다. 상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 나노 특성을 갖는 재료 시편의 특성을 파악하기 위하여 나노 재료 시험기에 장착하는 나노 재료 시험기용 시편 모듈의 제조 방법에 있어서, 하단에 위치하는 베이스를 준비하는 베이스 준비 단계; 상기 베이스 상단에 제1희생층을 형성하는 제1희생층 형성 단계; 상기 제1희생층 상단에 제2희생층을 형성하는 제2희생층 형성 단계; 상기 제2희생층 상단에 나노 재료 시험기를 통하여 시험하는 시편용 시편층을 형성하는 시편층 형성 단계; 상기 시편층 상단에 제3희생층을 형성하는 제3희생층 형성 단계; 상기 제3희생층 상단에 패턴층을 형성하는 패턴층 형성 단계; 상기 패턴층이 형성된 면적 이외의 제2희생층, 시편층, 제3희생층을 제거하는 에칭 단계; 상기 패턴층을 제거한 후, 상기 제1희생층 상단에 잔류하는 제2희생층, 시편층 및 제3희생층을 감싸는 형태이며, 시편의 일부가 노출되는 관통구를 포함하는 지그층을 형성하는 지그층 형성 단계; 및 제1희생층을 제거하여 베이스를 분리하는 시편 모듈 완료 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다. |
