| 摘要 |
본 발명은 스테이지 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 접촉식 프로브(contact probe)의 조립에 사용되는 스테이지 장치에 관한 것이다. 본 발명의 실시예에 따른 스테이지 장치는 베이스 플레이트; 상기 베이스 플레이트 상에, 제1방향으로 이동가능하게 형성되는 두 개의 제1무빙 플레이트; 상기 각각의 제1무빙 플레이트 상에, 상기 제1방향과 수직인 제2방향으로 이동가능하게 형성되는 두개의 제2무빙 플레이트; 상기 베이스 플레이트 상에 설치되며, 상기 제1무빙 플레이트를 상기 제1방향으로 이동 가능하게 형성되는 제1구동모듈; 및 상기 각각의 제1무빙 플레이트 상에 설치되며, 상기 제2무빙 플레이트를 상기 제2방향으로 이동 가능하게 형성되는 두개의 제2구동모듈;을 포함하고, 상기 제1구동모듈 작동 시, 상기 두 개의 제1무빙 플레이트는 서로 반대방향으로 이동하는 것을 특징으로 한다. 상기한 바와 같은 본 발명의 실시예에 따르면, 모터를 통해 스테이지를 제어하여 미세조정이 가능하기 때문에, 매우 얇은 두께의 접촉식 프로브도 조립할 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예에 따르면 스테이지 장치에 포함된 지그를 통해 프로브 니들의 이탈을 방지하는 홈을 생성할 수 있어, 별도의 홈 생성장치를 구비하지 않아도 되기 때문에 경제성이 향상된다. |
