| 摘要 |
본 발명은 (a)석영튜브를 사용하여, 마주보는 지점에 개구가 형성된 구형의 전구헤드(Bulb Head)와 상기 개구 중 어느 하나에 전구헤드 내부와 연통되게 연결된 제1 배기관을 형성하는 단계; (b)석영튜브로된 초기방전유도용 서브 방전관을 준비하고, 상기 초기방전유도용 서브 방전관의 일단부에 상기 서브 방전관보다 내경이 작은 제2 배기관을 결합하고, 타단부를 상기 전구헤드의 제1 배기관이 연결되지 않은 나머지 개구에 전구헤드의 내부와 연통되게 결합하는 단계; (c)상기 제2 배기관을 통하여 InBr와 알곤가스를 공급하여 전구헤드 및 초기방전유도용 서브 방전관을 세척하는 단계; (d)상기 제2 배기관을 제거하고, 초기방전유도용 서브 방전관의 하단에 전구봉을 결합시키는 단계; (e)상기 (d)단계에서 제조된 전구의 내부를 진공상태로 만든 후, 제1 배기관을 통하여 액상의 InBr를 넣은 후 봉인하는 단계; (f)상기 전구에 제1 배기관을 통하여 알곤가스를 주입하고 봉인하는 단계; (g)상기 전구에서 제1 배기관을 제거하면서 전구헤드를 봉인하는 단계; 및 (h)상기 전구의 전구봉의 하단부에 전구를 회전용 모터에 연결시키는 샤프트를 결합키는 단계;를 포함하는 인듐브로마이드 플라즈마 라이팅 시스템용 전구 어셈블리의 제조방법, 및 플라즈마 라이팅 시스템용 전구 어셈블리, 및 할로겐족 메탈화합물 광발생장치를 제공한다. |
