发明名称 DROPLET VOLUME MEASURING DEVICE DROPLET VOLUME MEASURING METHOD SUBSTRATE FOR MEASURING DROPLET VOLUME AND INKJET DRAWING APPARATUS
摘要 잉크젯 방식에 의해 토출된 액적의 체적을 정확하게 측정한다. 측정 기판(S) 상의 액적(L)의 상방에, 링 형상 광원(17)의 중심축과 카메라(11)의 광축이 일치하여 액적(L)의 정점을 지나고, 또한, 링 형상 광원(17)의 직경 방향과 측정 기판(S)의 표면이 평행이 되도록 링 형상 광원(17)과 카메라(11)를 배치하고, 링 형상 광원(17)을 점등시킨 상태로 카메라(11)에 의해 액적(L)을 촬영한 화상에 기초하여 링 형상 광원(17)으로부터 액적(L)에 조사된 광의 반사광의 둘레의 반경(x)을 구하고, 측정 기판(S)의 하측으로부터 액적(L)을 향해 광을 조사한 상태로 카메라(11)에 의해 액적(L)을 촬영한 화상에 기초하여 액적(L)의 반경(A)을 구하고, 반경(x)과 반경(A)을 이용하여 액적(L)의 체적을 산출한다.
申请公布号 KR20160117206(A) 申请公布日期 2016.10.10
申请号 KR20160033950 申请日期 2016.03.22
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 OSHIMA KIYOMI;HAYASHI TERUYUKI;SHIMO FUMIO
分类号 G01F19/00;G01N15/14;G01N21/88 主分类号 G01F19/00
代理机构 代理人
主权项
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