发明名称 HEATER
摘要
申请公布号 JPS57123679(A) 申请公布日期 1982.08.02
申请号 JP19810007951 申请日期 1981.01.23
申请人 HITACHI SEISAKUSHO KK 发明人 AMADA HARUO;YOSHIDA KIYOSHI
分类号 H05B6/68;H01L21/027;H05B6/76;H05B6/80 主分类号 H05B6/68
代理机构 代理人
主权项
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