带电粒子束装置以及试样制作方法

摘要

本发明提供一种带电粒子束装置，其具备：带电粒子源；使从带电粒子源放出的带电粒子束聚焦在试样上的物镜；检测从试样放出的二次带电粒子的检测器；能够与试样接触的探针；向试样放出导电性气体的气体喷嘴；以及对探针的驱动和从气体喷嘴的气体放出进行控制的控制部，控制部在向试样照射带电粒子束并加工试样之后、使探针与试样接触之前，使气体从气体喷嘴朝向加工位置放出，并照射带电粒子束而在试样的加工部形成导电性膜，并且具备判断形成于加工部的导电性膜与探针的接触的接触探测部。

主权项

一种带电粒子束装置，具备：带电粒子源；使从上述带电粒子源放出的带电粒子束聚焦在试样上的物镜；检测从上述试样放出的二次带电粒子的检测器；能够与上述试样接触的探针；向上述试样放出导电性气体的气体喷嘴；以及对上述探针的驱动和从上述气体喷嘴的气体放出进行控制的控制部，上述带电粒子束装置的特征在于，上述控制部具有接触探测判定部，在向上述试样照射带电粒子束以使上述试样的一部分作为微小试样而分离的方式实施加工之后且利用上述探针将被加工的微小试样的一面固定于试样台上之前，从上述气体喷嘴向上述微小试样放出气体，并照射上述带电粒子束而在上述微小试样的顶部表面和侧面形成导电性膜，上述接触探测判定部对上述探针、上述微小试样以及上述试样台之间的电导通进行探测。