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发明名称 COBALT PRECURSORS
摘要 본원에서는, 예를 들어, 집적 회로 및 박막 제품의 제조시 상호접속부, 캡핑 구조체 및 벌크 코발트 전도체를 형성하기 위한 원자 층 침착(ALD) 및 화학적 증착(CVD) 공정에서, 기재 상에 코발트를 증착하기 위한 용도를 갖는 코발트 전구체가 기술된다.
申请公布号 KR20160124810(A) 申请公布日期 2016.10.28
申请号 KR20167025411 申请日期 2015.02.19
申请人 ENTEGRIS, INC. 发明人 BAUM THOMAS H.;BATTLE SCOTT L.;CLEARY JOHN M.;PETERS DAVID W.;CHEN PHILIP S. H.
分类号 C23C16/16;C07F15/06;C23C16/18 主分类号 C23C16/16
代理机构 代理人
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