发明名称 METHOD OF FORMING ADJACENT IMPURITY REGIONS OF DIFFERENT DOPING IN A SILICON SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP0006510(B1) 申请公布日期 1983.04.13
申请号 EP19790101845 申请日期 1979.06.11
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 GOTH, GEORGE RICHARD
分类号 H01L29/73;H01L21/033;H01L21/22;H01L21/225;H01L21/266;H01L21/316;H01L21/331;H01L21/76;H01L29/88;(IPC1-7):01L21/18;01L29/08;01L21/316 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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