发明名称
摘要
申请公布号 JPS5842268(B2) 申请公布日期 1983.09.19
申请号 JP19740058072 申请日期 1974.05.23
申请人 CANON KK 发明人 SAWAMURA MITSUHARU
分类号 C23C14/54 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
主权项
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