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发明名称
摘要
申请公布号
JPS5842268(B2)
申请公布日期
1983.09.19
申请号
JP19740058072
申请日期
1974.05.23
申请人
CANON KK
发明人
SAWAMURA MITSUHARU
分类号
C23C14/54
主分类号
C23C14/54
代理机构
代理人
主权项
地址
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