| 摘要 |
본 발명은 기판 플립장치 및 이를 포함하는 기판 처리 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판 수용부의 회전 반경을 줄여 공정시간을 단축할 수 있는 기판 플립장치 및 이를 포함하는 기판 처리 시스템에 관한 것이다. 본 발명의 일실시예에 따른 기판 플립장치는 기판이 출입하는 개구부를 가지며, 상기 기판이 수용되는 내부 공간을 갖는 기판 수용부; 상기 기판 수용부의 일측에 연결되는 제1 원형 플레이트; 상기 기판 수용부의 타측에 연결되고, 상기 제1 원형 플레이트와 대향하는 제2 원형 플레이트; 상기 제1 원형 플레이트와 상기 제2 원형 플레이트를 서로 결합하는 복수의 결합부재; 상기 제1 원형 플레이트와 상기 제2 원형 플레이트가 지지되는 몸체부; 표면에 나선상의 홈이 형성되고, 상기 홈에 접촉된 상기 제1 원형 플레이트에 동력을 전달하는 동력전달축; 및 상기 동력전달축의 일측에 결합되어 상기 동력전달축을 회전시키는 구동부를 포함하고, 상기 기판 수용부는 상기 제1 원형 플레이트와 상기 제2 원형 플레이트의 중심을 축으로 회전할 수 있다. |
