| 摘要 |
본 발명은 기판처리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판처리장치에 설치되어 기판의 가장자리 부분을 복개하는 섀도우프레임 제조방법 및 그 제조방볍에 의하여 제조된 섀도우프레임에 관한 것이다. 본 발명은, 복수 개의 플레이트(100)들을 직사각형 프레임 구조를 이루도록 용접하는 용접단계(S20)와; 상기 용접단계(S20) 후에 상기 용접된 플레이트(100)들을 미리 설계된 형상의 섀도우프레임의 형상으로 가공하는 프레임형성단계(S30)와; 상기 프레임의 표면에 표면 보호를 위한 산화막을 형성하는 산화막형성단계(S40)를 포함하는 섀도우프레임 제조방법을 개시한다. |
