| 摘要 |
금속 원소 및 칼코겐 원소를 포함하는 소스 용액을 기판 상에 제공하는 단계, 상기 기판 상의 소스 용액을 건조하여 제1 금속/칼로겐 화합물 박막을 형성하는 단계, 상기 제1 금속/칼코겐 화합물 박막의 적어도 일부를 선택적 어닐링하여, 결정화된 제1 부분을 포함하는 제2 금속/칼코겐 화합물 박막을 형성하는 단계, 및 상기 제2 금속/칼코겐 화합물 박막 상에 원자층 증착법(ALD, Atomic Layer Deposition)을 수행하여 제3 금속/칼코겐 화합물 박막을 형성하는 단계를 포함한다. |
