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摘要
申请公布号 DE2424204(C2) 申请公布日期 1984.07.12
申请号 DE19742424204 申请日期 1974.05.17
申请人 SEMICONDUCTOR RESEARCH FOUNDATION, SENDAI, MIYAGI, JP;MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 NISHIZAWA, JUN-ICHI, SENDAI, MIYAGI, JP;KITSUREGAWA, TAKASHI, NISHINOMIYA, HYOGO, JP
分类号 H01P1/00;H01L21/00;H01L21/331;H01L21/822;H01L23/64;H01L27/04;H01L29/00;H01L29/66;H01L29/73;H01L29/80;(IPC1-7):01L29/06;01L29/80 主分类号 H01P1/00
代理机构 代理人
主权项
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