| 摘要 |
리소그래픽 시스템의 진동하는 광학적 요소(2)를 제어하기 위한 방법으로서, 상기 광학적 요소(2)가 미리 결정된 수의 자유도를 가지는, 광학적 요소의 이동을 제어하는 방법으로서: 광학적 요소(2)의 다수의 변위를 검출하는 단계로서, 각각의 변위가 자유도에 상응하고, 상기 검출되는 변위의 수가 상기 자유도의 수 보다 큰, 변위 검출 단계; 자유도에 따른 각각의 변위에 대해서, 자유도 내의 운동에 상응하는 센서 신호(S, S, S, S)를 생성하는 단계로서, 상기 광학적 요소가 강성 본체 변환 행렬(Ty)로서 이동하고, 상기 광학적 요소 운동이 적어도 제 1 타입의 운동 및 제 2 타입의 운동을 포함하는, 센서 신호 생성 단계; 및 수정된 변환 행렬의 함수로서 상기 센서 신호(S, S, S, S)를 수정하는 단계로서, 상기 수정된 변환 행렬이 상기 제 1 타입의 운동 또는 상기 제 2 타입의 운동 중 적어도 하나의 하나 이상의 고유의 모드 또는 공진을 적어도 부분적으로 감소시키는, 수정 단계를 포함한다. |
