发明名称 PROTECTIVE-MEMBRANE-FORMING FILM, SHEET FOR FORMING PROTECTIVE MEMBRANE, COMPOUND SHEET FOR FORMING PROTECTIVE MEMBRANE, AND INSPECTION METHOD
摘要 파장 1600㎚의 광선 투과율이 72% 이상이고, 파장 550㎚의 광선 투과율이 20% 이하인 것을 특징으로 하는 보호막 형성 필름(1)과, 그 보호막 형성 필름(1)의 일방의 면 또는 양면에 적층된 박리 시트(21)를 구비한 보호막 형성용 시트(2). 이러한 보호막 형성용 시트(2)에 의하면, 워크 또는 당해 워크를 가공하여 얻어지는 가공물에 존재하는 크랙 등의 검사가 가능하고, 또한 워크 또는 가공물에 존재하는 연삭흔이 육안에 의해 보이지 않는 보호막을 형성할 수 있다.
申请公布号 KR20160111928(A) 申请公布日期 2016.09.27
申请号 KR20167019620 申请日期 2015.01.21
申请人 LINTEC CORPORATION 发明人 YAMAMOTO DAISUKE;YONEYAMA HIROYUKI
分类号 H01L23/29;C09J7/00;C09J7/02;H01L21/56;H01L23/00 主分类号 H01L23/29
代理机构 代理人
主权项
地址