Verfahren zum Ermitteln von Brechungsindex und Schichtdicke einer transparenten Schicht mittels Ellipsometrie

摘要

Ein ellipsometrisches Verfahren zum Ermitteln charakteristischer Größen transparenter Schichten ermittelt an einer zu untersuchenden Schicht ein Paar der ellipsometrischen Größen dieser Schicht bei einer ersten Schichtdicke und anschließend bei einer zweiten Schichtdicke. Eine der beiden Schichtdicken kann auch den Wert 0 aufweisen, wobei dann das Paar der ellipsometrischen Größen an einem unbeschichteten Substrat gemessen wird. Aus den insgesamt vier gemessenen ellipsometrischen Größen wird anhand einer angegebenen Formel der Brechungsindex der zu untersuchenden Schicht ermittelt, aus dem nach bekannten ellipsometrischen Verfahren die Schichtdicke ermittelt werden kann.