| 摘要 |
본 발명은 각종 가스의 상방 공급, 상방 배기를 수행하는 경우에서 기판에 대한 프로세스 처리를 적절하게 수행하는 것을 가능하도록 한다.기판이 재치되는 기판 재치대; 상기 기판 재치대의 상방측으로부터 상기 기판의 면상에 처리 가스를 공급하는 직사각형 형상의 제1 관통공 및 상기 제1 관통공으로부터 외측으로 연장하는 제1 돌출부를 포함하고, 상기 제1 관통공의 종방향의 길이는 상기 기판의 지름보다 길거나 같은 것인 처리 가스 공급 유닛; 상기 처리 가스 공급 유닛의 측방에 배치되고, 상기 기판 재치대의 상방측으로부터 상기 기판의 면상에 불활성 가스를 공급하는 직사각형 형상의 제2 관통공 및 상기 제2 관통공으로부터 외측으로 연장하는 제2 돌출부를 포함하고, 상기 제2 관통공의 종방향의 길이는 상기 기판의 지름보다 길거나 같은 것인 불활성 가스 공급 유닛; 및 (a) 상기 처리 가스 공급 유닛과 상기 불활성 가스 공급 유닛 사이에 배치된 가스 배기공과 (b) 인접한 상기 처리 가스 공급 유닛 및 상기 불활성 가스 공급 유닛의 돌출부들 및 측벽들에 의해서 부분적으로 규정되는 배기 버퍼실을 포함하고, 상기 가스 배기공 및 상기 배기 버퍼실을 통해서 돌출부의 하면과 상기 기판 재치대의 대응 영역 사이에서 체류된 가스를 배기하도록 구성되는 가스 배기부를 포함하고, 상기 제1 돌출부 및 상기 제2 돌출부 중 적어도 하나는 일단 측이 좁고 타단 측이 넓도록 구성되는 기판 처리 장치가 제공된다. |
