主权项 |
一种带压下六氟化硫气体湿度传感器的校验平台,包括饱和蒸汽发生器、气源(1)、具有干燥功能的减压过滤装置(2),气源(1)出口依次经减压过滤装置(2)、第一阀门(3)接饱和蒸汽发生器的第二进气口(28),其特征在于:增设了真空泵(4)、直线电机(5)带动的气缸(6)和传感器标准度检测装置,其中传感器标准度检测装置包括罐体(7)、镜面式六氟化硫湿度传感器(8)、阻容式六氟化硫湿度密度传感器(9)、电机(10)、磁性联轴器(11)和设置在罐体(7)内的风扇(12),其中罐体(7)上设有安全阀(13)、压力表(14)、真空计(15)、第一进气口(16)、第一出气口(17)和用于安装待检测六氟化硫湿度传感器的转接头(18),第一进气口(16)接第一四通(19)的第一端,镜面式六氟化硫湿度传感器(8)和阻容式六氟化硫湿度密度传感器(9)均安装在罐体(7)内壁上,第一出气口(17)经第八阀门(20)接露点仪(21),磁性联轴器(11)嵌装在罐体(7)上,磁性联轴器(11)的外转子与电机(10)的输出轴连接,内转子与风扇(12)固定连接;饱和蒸汽发生器包括设有电加热管(22)的密闭容器(23)、循环泵(24)、曝气头(25)、水箱(26)和温度传感器(27),其中密闭容器(23)的底部设有第二进气口(28)和水口(29),温度传感器(27)安装在密闭容器(23)内的底部,曝气头(25)安装在密闭容器(23)内、并与第二进气口(28)连通,水口(29)设有第二阀门(30),并与水箱(26)底部连通;第二进气口(28)依次经设有第一阀门(3)和减压过滤装置(2)的管道连通气源(1)、依次经第一阀门(3)和第三阀门(32)接第一四通(19)的第二端,并经循环泵(24)接第二四通(33)的第四端;第二四通(33)的第一端连通密闭容器(23)顶部的第二出气口,第二端经设有第四阀门(35)的排气管道接大气,第三端经第五阀门(36)接三通(37)的第一端,三通(37)的第二端连通气缸(6),第三端经第六阀门(38)连通第一四通(19)的第三端;第一四通(19)的第四端经第七阀门(34)连通真空泵(4);气缸(6)的活塞杆与直线电机(5)的输出端固定连接。 |