| 摘要 |
실시 예의 웨이퍼 오염 방법은, 금속과 오염 촉진 용액을 포함하는 복수의 1차 오염 용액을 준비하는 단계와, 복수의 1차 오염 용액 중 해당하는 1차 오염 용액에 첨가 용액을 첨가하여, 복수의 1차 오염 용액에 포함된 오염 촉진 용액 간의 농도 편차를 감소시킨 복수의 2차 오염 용액을 준비하는 단계와, 복수의 2차 오염 용액을 웨이퍼 표면 위의 해당하는 복수의 지점에 떨어뜨리는 단계 및 웨이퍼 표면에 떨어진 복수의 2차 오염 용액을 건조시키는 단계를 포함할 수 있다. |
