| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SILICON CARBIDE MOS STRUCTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6066866(A) |
申请公布日期 |
1985.04.17 |
| 申请号 |
JP19830177482 |
申请日期 |
1983.09.24 |
| 申请人 |
SHARP KK |
发明人 |
SUZUKI AKIRA;FURUKAWA MASAKI |
| 分类号 |
H01L29/161;H01L21/04;H01L21/28;H01L29/24;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L29/161 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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