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发明名称 펠릿 박리 방법
摘要 <p>내용 없음</p>
申请公布号 KR850002169(A) 申请公布日期 1985.05.06
申请号 KR19830003834 申请日期 1983.08.17
申请人 null, null 发明人 야나기 아끼히로
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
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