| 摘要 |
본 발명은 멀티 모듈을 구성하는 모듈이 사용 불가 모듈이 되었을 때에, 작업 처리량의 저하를 억제하는 것을 과제로 한다. 사용 불가 모듈이 발생한 이후에는, 복수의 단위 블록에 있어서 가장 빠르게 배치 가능해진 반입 모듈에 기판을 지급하고, 상기 복수의 단위 블록의 각각에서는, 기판이 반입 모듈에 지급된 순서에 따라, 반송 수단에 의해 기판을 모듈군에 순차 반송하여 반출 모듈에 전달한다. 그리고, 기판이 반입 모듈에 지급된 순서에 따라, 기판을 반출 모듈로부터 추출하고, 후단 모듈 또는 기판 배치부에 반송한다. 이 후, 통상 시에 기판이 반입 모듈에 지급되는 일정한 순서에 따라, 반출 모듈 또는 기판 배치부로부터 후단 모듈에 기판을 반송한다. |
