| 发明名称 |
METHOD OF WIRING METAL OF INTEGRATED CIRCUIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS60167448(A) |
申请公布日期 |
1985.08.30 |
| 申请号 |
JP19840242181 |
申请日期 |
1984.11.16 |
| 申请人 |
BURITEITSUSHIYU TEREKOMIYUNIKEESHIYONZU |
发明人 |
BURAIAN MAACHIN |
| 分类号 |
H01L21/3205;G03F7/095;H01L21/027 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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