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发明名称 IMPROVED SILICON OXYNITRIDE MATERIAL AND PROCESS FOR FORMING SAME
摘要
申请公布号 IL75278(D0) 申请公布日期 1985.09.29
申请号 IL19850075278 申请日期 1985.05.22
申请人 HUGHES AIRCRAFT COMPANY 发明人
分类号 H01L21/318;C23C16/22;C23C16/30;C23C16/48;H01L21/314;(IPC1-7):C23C/ 主分类号 H01L21/318
代理机构 代理人
主权项
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