| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR SETTING VOLTAGE RESOLUTION OF PARTICLEBEAM MEASURING EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS60205950(A) |
申请公布日期 |
1985.10.17 |
| 申请号 |
JP19850036248 |
申请日期 |
1985.02.25 |
| 申请人 |
SIEMENS SCHUCKERTWERKE AG |
发明人 |
HANSU PEETAA FUOIERUBAUMU;PEETAA FUATSUEKASU |
| 分类号 |
H01J37/28;G01R31/305;G01T1/28;H01J37/26 |
主分类号 |
H01J37/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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