| 摘要 |
본 발명은 소자핸들러에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체칩과 같은 소자를 번인보드에 적재하거나 인출하는 소자핸들러에 관한 것이다. 본 발명은, 제1소자들이 적재된 트레이가 로딩되는 로딩부와; 제2소자들이 인출된 빈 자리에 제1소자가 적재되는 번인보드를 X-Y방향으로 이동시키는 X-Y테이블과; 상기 X-Y테이블로부터 인출된 제2소자가 임시로 적재되는 버퍼부와; 상기 버퍼부에 적재된 제2소자 중 양품의 제2소자가 트레이에 적재되는 언로딩부를 포함하는 소자핸들러를 개시한다. |
