| 摘要 |
회전 지지축을 기준으로 한 센서 질량체의 회동 운동을 이용하여 x-y평면에 수직인 z축 방향의 가속도를 감지하는 멤스 가속도 센서가 제공된다. 이러한 멤스 가속도 센서는 바닥 웨이퍼기판에 대해 평행하게 배치되며, 상기 바닥 웨이퍼기판에 수직인 방향으로 외부의 가속도가 입력될 때, 상기 바닥 웨이퍼에 대해 평행한 2이상의 축에 대해 상대적인 회전 움직임을 갖는 센서질량체; 상기 센서질량체의 회전 움직임에 대해 복원력을 제공하도록 상기 2이상의 축에 대해 작용하는 비틀림 스프링; 및 상기 센서질량체의 수직 방향 직선 변위 또는 회전 변위 중 적어도 하나를 감지하는 적어도 하나의 감지전극으로 이루어진다. |
