| 摘要 |
L'invention concerne un procédé de fabrication d'un nanogénérateur piézoélectrique , un nanogénérateur piézo-électrique obtenu par ce procédé ainsi qu'un dispositif comportant ce nanogénérateur piézo-éiectrique connecté à un condensateur, ledit procédé comprenant les étapes suivantes : a) fournir une membrane (100) en β-PVDF polarisé ou en copolymère PVDF-TrFe polarisé présentant donc des propriétés piézo-électriques, ladite membrane (100) présentant par ailleurs deux faces externes principales (11, 12) séparées par une épaisseur (e) de membrane ; b) irradier ladite membrane (100) par l'une au moins de ses deux faces externes principales (11, 12) à travers toute l'épaisseur de ladite membrane avec des ions lourds présentant une fluence comprise entre 103 ions/cm2 et 1010 ions/cm2, en conséquence de quoi on obtient une membrane (101) avec des traces latentes (TL) du passage des ions lourds à travers toute l'épaisseur de celle-ci ; c) réaliser une révélation chimique des traces latentes (TL) sur une durée prédéterminée pour maintenir une zone de défaut (ZD) appartenant à la trace latente, en conséquence de quoi on obtient une membrane nanostructurée avec des nanopores comportant, autour de chaque nanopore, une zone de défaut (ZD) ; d) déposer une couche d'un matériau conducteur de l'électricité sur l'une (12) des deux faces externes principales (11, 12) de ladite membrane ; e) réaliser une électrodéposition d'un matériau semi-conducteur ou conducteur de l'électricité dans les nanopores en arrêtant l'électrodéposition avant le remplissage complet des nanopores, en conséquence de quoi on obtient une membrane nanostructurée avec des nanofils (15) remplissant partiellement les nanopores ; et f) déposer une couche d'un matériau conducteur de l'électricité sur l'autre (11) des deux faces externes principales (11, 12), qui n'est donc pas en contact avec les nanofils |
