| 摘要 |
일실시형태의 성막 장치는, 배치대, 처리 용기, 가스 공급부 및 플라즈마 생성부를 구비한다. 배치대는, 그 복수의 기판 배치 영역이 둘레 방향으로 이동하도록 축선을 중심으로 회전 가능하게 설치되어 있다. 처리실은, 배치대를 수용하고 있고, 제1 영역 및 제2 영역을 포함한다. 배치대의 회전에 의해 축선에 대하여 둘레 방향으로 이동하는 기판 배치 영역은, 제1 영역 및 제2 영역을 순서대로 통과한다. 가스 공급부는, 배치대에 대면하도록 설치된 분사부로부터 제1 영역에 전구체 가스를 공급한다. 플라즈마 생성부는, 제2 영역의 위쪽에 있어서 도파로를 구획하는 1 이상의 도파관과, 그 1 이상의 도파관에 접속된 마이크로파 발생기와, 1 이상의 도파관의 하측 도체부에 형성된 복수의 개구를 통과하여 제2 영역까지 연장된 유전체제의 복수의 돌출부를 포함한다. 복수의 돌출부는, 상기 축선에 대하여 방사 방향으로 배열되어 있다. |
