| 发明名称 |
METHOD AND COMPOSITION OF A CHEMICALLY AMPLIFIED COPOLYMER RESIST |
| 摘要 |
본 개시 내용은 감응성 재료를 제공한다. 감응성 재료가 공중합체를 포함하고, 그러한 공중합체가 중합체 단위를 포함하고, 그러한 중합체 단위는 소수성 단위; 산 발생제를 포함하는 친수성 단위; 및 소수성 단위와 친수성 단위 사이에 결합된 결합 단위를 포함하며, 결합 단위가 산 불안정기를 포함한다. |
| 申请公布号 |
KR20160135636(A) |
申请公布日期 |
2016.11.28 |
| 申请号 |
KR20150166357 |
申请日期 |
2015.11.26 |
| 申请人 |
TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD. |
发明人 |
CHENG YA LING;CHANG CHING YU |
| 分类号 |
G03F7/039;G03F7/004 |
主分类号 |
G03F7/039 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
