| 摘要 |
본 발명은 포켓 분리형 서셉터에 관한 것으로, 상하로 관통된 통공인 삽입홀(11)이 적어도 하나 이상 설치된 원판형의 서셉터 본체(10)와, 상기 삽입홀(11)에 각각 삽입되며, 각각의 상면에 포켓(21)이 마련되어 기판을 실장할 수 있는 포켓부(20)로 구성하여 된 것을 특징으로 한다. 본 발명은 기판 또는 위성체가 삽입되는 포켓을 구비하는 포켓부를 서셉터 본체부와 분리 가능하게 구성함으로써, 기판 또는 위성체의 삽입, 탈착 또는 공정 중에 포켓의 주변 코팅층이 손상되는 경우, 해당 포켓부만 교체할 수 있어, 서셉터의 사용 수명 단축을 방지함과 아울러 유지, 보수 비용을 줄일 수 있는 효과가 있다. |
