发明名称 VACUUM EXHAUSTER
摘要
申请公布号 JPS6138178(A) 申请公布日期 1986.02.24
申请号 JP19840158262 申请日期 1984.07.27
申请人 HITACHI LTD 发明人 MATSUMOTO MANABU;IKEGUCHI TAKASHI;KAWAIKE KAZUHIKO;CHIBA ATSUSHI
分类号 F04B37/08 主分类号 F04B37/08
代理机构 代理人
主权项
地址