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发明名称
PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号
JPS6143414(A)
申请公布日期
1986.03.03
申请号
JP19840164984
申请日期
1984.08.08
申请人
HITACHI LTD
发明人
AMADA HARUO;YAMADA SEIICHI;MIYAZAKI ISAO
分类号
H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
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