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经营范围
发明名称
PLASMA VERTICAL-POSITION CONTROLLER
摘要
申请公布号
JPS6177791(A)
申请公布日期
1986.04.21
申请号
JP19840199537
申请日期
1984.09.26
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
HATAYAMA AKIMASA
分类号
G21B1/11;G21B1/00;H05H1/12
主分类号
G21B1/11
代理机构
代理人
主权项
地址
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