| 发明名称 |
PATTERN-DEFECT DETECTING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6186638(A) |
申请公布日期 |
1986.05.02 |
| 申请号 |
JP19840208177 |
申请日期 |
1984.10.05 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
ICHINOSE TOSHIAKI;NINOMIYA TAKANORI;NAKAGAWA YASUO |
| 分类号 |
H05K3/00;G01N21/88;G01N21/956;G06T1/00 |
主分类号 |
H05K3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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